Sistema de dosificacion de fluidos de alta pureza

Reivindicaciones:

REIVINDICACION 1-Un sistema de dosificación de fluido(100), caracterizado porque coprende: un reservorio que tiene una entrada para recibir un gas para presurizar el reservorio y una salida para dosificar el fluido que contiene el reservorio; unprimer dispositivo de control de flujo(110) conectado a la entrada del reservorio; un primer transmisor de presión conectado a la entrada del reservorio donde el primer transmisor de presión proporciona una señal de salida; un segundo dispositivo decontrol de flujo(110) en comunicación fluida con la salida del reservorio para controlar el flujo fuera del reservorio; un segundo transmisor de presión conectado a la salida del reservorio donde el segundo transmisor de presión proporciona unaseñal de salida; un caudalímetro de masa de Coriolis(112, 50, 212, 312, 412, 512) en comunicación fluida con el segundo dispositivo de control de flujo(110), donde el caudalímetro de Coriolis(112, 50, 212, 312, 412, 512) tiene un tubo de flujo(52)hecho de un material plástico de alta pureza donde el cudalímetro de Coriolis(112, 50, 212, 312, 412, 512) proporciona una señal de salida; un controlador(114) quye recibe una señal de referencia, donde el controlador recibe señales de salidaproveniente del primer y segundo transmisor de presión y del caudlímetro de Coriolis(112, 50, 212, 312, 412, 512) y proporciona señales de control de salida al primer y segundo dispositivo de control de flujo(110), para variar la presión delreservorio y la tasa de flujo del fluido desde el reservorio. SIGUEN 13 REIVINDICACIONES

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