La presente invención se refiere a un sensor de presión que tiene un diafragma de silicio monocristalino caracterizado porque utiliza un arreglo de cuatro transistores de tipo metal-óxido-semiconductor (MOS) como elementos sensores y están colocados uno en cada borde del diafragma dentro del mismo, y cuatro transistores adicionales colocados cada uno junto a los anteriores en el bastidor, fuera del diafragma donde no se ven afectados por la deformación y utlizados para la temperatura.
Palabras clave: borde del diafragma adicionales colocados diafragma transistores
Nombre del Agente: MARTHA FIGUEROA PÉREZ; Av. Instituto Politécnico Nacional 2508, San Pedro Zacatenco, 7360, GUSTAVO A. MADERO, Distrito F
Titular: CENTRO DE INVESTIGACION Y DE ESTUDIOS AVANZADOS DEL I.P.N.
| Deposito en: | ![]() |
|---|---|
| Solicitud: | PA/a/1997/003801 |
| Presentacion: | 23/05/1997 |
| Tipo de Documento: | Patente |
| Concesión: | 18/05/2007 |