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Sensor de presion a tmos

La presente invención se refiere a un sensor de presión que tiene un diafragma de silicio monocristalino caracterizado porque utiliza un arreglo de cuatro transistores de tipo metal-óxido-semiconductor (MOS) como elementos sensores y están colocados uno en cada borde del diafragma dentro del mismo, y cuatro transistores adicionales colocados cada uno junto a los anteriores en el bastidor, fuera del diafragma donde no se ven afectados por la deformación y utlizados para la temperatura.

Palabras clave: borde del diafragma adicionales colocados diafragma transistores

Nombre del Agente: MARTHA FIGUEROA PÉREZ; Av. Instituto Politécnico Nacional 2508, San Pedro Zacatenco, 7360, GUSTAVO A. MADERO, Distrito F

Titular: CENTRO DE INVESTIGACION Y DE ESTUDIOS AVANZADOS DEL I.P.N.

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Deposito en:México
Solicitud:PA/a/1997/003801
Presentacion:23/05/1997
Tipo de Documento:Patente
Concesión:18/05/2007
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